最近,美国商务部长霍华德·卢特尼克(Howard Lutnick)向荷兰ASML高层提出质问,怀疑有EUV(极紫外光刻机)或其核心部件、运输设备违反禁令流入了中国。这一消息在科技界和金融界引发了巨大震动。
美国的这一举动,与最近中美关于AI芯片的博弈有关。今年年初(2026年1月),美国政府做出了一个让人大跌眼镜的政策转向:宣布允许英伟达向中国销售性能更强的 H200 芯片(此前这类芯片是被严厉禁止的),但带有极其苛刻且近乎羞辱性的附加条件。
特朗普政府要求所有销往中国的 H200 芯片必须加征 25% 的特殊关税,直接返给美国财政部。 每一颗运往中国的芯片,必须先送到美国境内的独立第三方实验室进行安全和性能检测,并且买家要承诺接受美方随时进行的最终用途审计(End-use verification)。
面对这种“既要赚你的钱,又要抽你的税,还要搜你的身”的政策,中国政府和各大科技巨头(如阿里、腾讯、百度)迅速做出了反应。中国海关明确表态不予通关,北京方面也下达了指导意见,要求中企除非科研急需,否则不要购买 H200,全面转向华为昇腾(Ascend)系列等国产算力芯片。
这导致了一个极其讽刺的现象,美国以为放开 H200 能作为谈判筹码,结果中国直接“不买了”。英伟达在中国的 AI 市场份额直接从曾经的 95% 暴跌至归零。这还是经过黄仁勋的百般游说,政府才开恩的,而美国的鹰派为此还耿耿于怀,怀疑黄是中国间谍,要他到国会质询。结果,人家不买了!
按黄仁勋的说法,要战胜中国,必须让中国对美国的芯片产生依赖。就像当年的Windows,微软知道中国在盗版,睁一只眼闭一只眼。等到估计99%以上的的电脑都用上了,突然搞黑屏,如果不注册付钱,电脑就没得用,中国用户不得不乖乖付钱。相反,微软如果当初就狠抓盗版,中国公司就会自己开发操作系统,等到自己有了,微软的市场也没了。
中国这次能掀桌子,还是自己有点底气。华为利用浸润式DUV多重曝光产的7纳米技术生产的昇腾 910B/910C ,性能已经大幅超越了英伟达的 H20,甚至逼近了英伟达的原版 A100。中国意识到,把自己的大模型底座建立在美国随时可能切断的供应链上,无异于自寻死路。中国正要利用这个美国自己找出来的窗口期,强行断掉对美企的依赖,把国内企业以及政府资助的以百亿、千亿计的资金的订单和投资全部砸给华为、寒武纪、海光等国内芯片企业。只有有了充足的资金灌溉和市场需求,国产芯片才有钱搞研发、迭代工艺,实现正向循环!
但美国对华为的这种声称表示怀疑,即利用老一代的DUV光刻机,通过“多重曝光”(Multi-patterning)和先进封装等技术,已经突破了7纳米甚至更先进的制程。因为美国自己以前做过不成,现在按照中国的方法也重复不出来。美国很难相信仅靠DUV就能做到这一步,因此怀疑中国是否秘密获取了EUV硬件或核心技术来进行逆向工程。
据彭博社等媒体报道,美国商务部声称掌握了某些零部件或运输物流的线索,认为有“EUV相关组件”可能通过极为复杂的供应链灰色地带漏向了中国。虽然美国尚未公开具体证据,但这种信息不对称让华盛顿高度警惕。
2025年底曾有外媒报道称,中国科研团队在研发EUV原型机时,吸纳了部分ASML的前员工。这让美国神经紧绷,认为即便整机运不进去,核心技术、组件或图纸也有可能通过人脉和离职员工流出。人是最重要的因素,当年一个钱学森抵得上几个师,一个顶尖人才,就能让中国脱胎换骨,即使没有EVU机,但能作出关键的改进,那可能才是DVU能生产出7纳米芯片,而且产量还很大,良品率还很高的真正原因。中国传出,要投资几千亿美元建造数据中心,全部用国产芯片,这个量要多大?
就AMSL本身,恐怕没有这个动机去干偷运这种事。一台EUV光刻机重达180吨,体积相当于一辆大巴车,需要3架波音747货机分批装载,拆成数万个零件。如此庞然大物,在全球最高级别的出口管制监视下,根本不可能上演“密室逃脱”或走私。ASML虽然是荷兰公司,但其EUV的核心光源(Cymer)和大量关键技术都来自美国。美国可以通过《外国直接产品规则》(FDPR)直接掐断ASML的供应链。一旦违规,ASML将被踢出西方半导体生态,其约7000亿美元的市值将面临毁灭性打击。ASML对售出的每一台光刻机都有着极严格的全球GPS定位和全天候联网监控。不仅如此,EUV极其娇贵,离开ASML工程师的定期维护和原厂配件更换,要不了多久就会变成一堆废铁。
既然ASML主观上没有动机,客观上整机走私也不可能,为什么还会闹出这场风波?行业内部普遍倾向于两种可能性:中国企业可能通过海外壳公司、二手设备市场,购买了ASML旧款设备或者EUV的非核心通用零部件(如真空系统、机械臂、精密轴承等),用于自己的EUV研发项目。美国商务部监测到了这些物流走向,便将其上升为“EUV可能已流入中国”的指控。另外,可能是美国一种施压手段,让ASML“证明自己没有做过的事”,来达到警示或在别的方面让步的目的。就像煤气灯PUA,一个丈夫整天指控妻子有外遇,搞得她不但萌芽状态的想法吓没了,在其它方面也处处听从。
美国要压ASML屈服的一个事,就是要全力推进一项国会两党联合提出的《MATCH法案》。这个法案有两个核心杀招: 彻底禁止向中国出口所有型号的浸润式DUV光刻机(如1980系列等老款); 禁止ASML为中国企业现有的、已经安装在厂房里的DUV设备提供任何维护、保修和零件更换服务。
美国假设中国就是靠这些老式的DUV造出了先进芯片,光刻机是极其精密的“长周期”设备,需要原厂工程师定期校准,且激光器、镜片等属于易耗品。如果真的彻底切断售后,国内现有的先进DUV光刻机在1到2年内就会因为缺乏配件或软硬件故障大面积停摆。这也是美国最想达到的“釜底抽薪”效果。
但这对ASML是无法接受的。对那些售出的光刻机,如果在合同期限内断了维护,中国就可以起诉退货还要索赔,总赔偿额高达数千亿欧元,而且会极大损坏ASML的名声。这是ASML难以承受的。美国现在试图通过抛出“EUV疑似泄漏”的舆论,逼迫ASML在接下来的“彻底切断中国DUV售后服务”谈判中做出退让。
中国目前的状态是,在EVU方面还任重而道远,不是一年两年,甚至十年内的事,但DUV的改进方面做得很不错,问题是现在还是很依赖ASML的DUV机子。美荷在深度博弈,中国不能坐等,还是要做好最坏的打算。
针对可能会遇到的ASML停止维护和提供配件的极端情况,中国作好了预案。计划分为“明、暗、长”三条路线。
路线一(明线):疯狂的囤积与“器官移植”。在制程禁令不断收紧的这几年,国内晶圆厂干得最多的一件事就是“爆买”和“囤货”。过去几年,中国买下了ASML绝大部分非先进制程的DUV光刻机和海量的二手设备,在厂房里备足了基数。 按照行业内部透露的消息,国内头部晶圆厂(如中芯、华虹等)囤积的ASML原厂易损件、耗材(如激光发生器核心组件、光学反射镜、精密轴承、高纯度化学品),足够支撑现有机器在完全没有原厂服务的情况下,高强度运转3到5年。 光刻机是由数万个零件组成的。即便部分机器坏了,只要有足够的技术资料,工程师可以把两台坏机器拆解,组合成一台好机器,优先保障核心产线的运转。
路线二(暗线):本土化“民间维保团队”的崛起。ASML撤走原厂工程师,不代表机器就没人能修了。 过去几年,大批原本在ASML、应用材料(Applied Materials)、泛林(Lam Research)工作的中国籍或华裔资深售后工程师、技术专家被国内高薪挖角。这批人极其熟悉ASML光刻机的内部结构、故障代码和底层逻辑。 光刻机的一些常规消耗品(如密封圈、机械臂、精密线缆、甚至是部分的激光源镜片),国内正在通过“逆向工程”由本土的半导体设备公司提供“副厂替代件”。虽然精度和寿命可能不如原厂,但足以“续命”。
路线三(长线):国产光刻机攻坚战。中国真正的、最根本的备份,是国产光刻机产业链的全面顶上。在这个领域,国内并不是零基础。在成熟制程(90nm/28nm及以上), 上海微电子(SMEE)的i-line、KrF等光刻机已经实现商业化,并且大量应用于国内封装厂和成熟制程、功率半导体(如汽车IGBT、电源管理芯片)的生产中。即使ASML的低端机器全废,这部分工作国产机器完全接得过来。
浸润式DUV(ArFi,对应先进制程),这是最核心的战场。国内的国家队(上海微电子领头,联合长春光机所、华卓精科、科益虹源等)正在全力攻坚国产浸润式DUV(目标对标ASML的1980系列)。目前这些样机正在国内顶级晶圆厂的“国产化验证线”上进行高强度的通片测试和工艺迭代。现状是, 虽然在良率、稳定性和每小时晶圆吞吐量(WPH)上,国产替代机目前还无法跟浸淫行业数十年的ASML成熟机器相比,但它已经解决了“从无到有”的问题。 一旦ASML的机器由于政治原因彻底报废,这条国产验证线会立刻转为正式生产线。 即使成本高一点、良率低一点,也能保证国家最核心的芯片不会“彻底断供”。
总结一下,如果ASML的机器因为ASML断绝服务而报废,在传统家电、普通汽车、物联网芯片方面, 几乎不受影响,国产成熟光刻机能顶上。高端手机芯片、AI算力芯片方面, 会经历一个痛苦的“性能倒退或产能暴跌期”。因为国产高端DUV要完全达到ASML的稳定性,还需要时间。中国目前依靠“库存配件”和“民间维保”筑起了一座缓冲堤坝。这座堤坝能为国产光刻机和先进封装技术的成熟,争取到3到5年的黄金窗口期。
只要在这段窗口期内,国产浸润式DUV的良率能够跑通,甚至国产的EUV或替代工艺走通,美国和ASML的“断供、断保杀招”,就会彻底失效。
荷兰偷卖光刻机给中国?
朱头山 (2026-06-19 11:23:07) 评论 (0)最近,美国商务部长霍华德·卢特尼克(Howard Lutnick)向荷兰ASML高层提出质问,怀疑有EUV(极紫外光刻机)或其核心部件、运输设备违反禁令流入了中国。这一消息在科技界和金融界引发了巨大震动。
美国的这一举动,与最近中美关于AI芯片的博弈有关。今年年初(2026年1月),美国政府做出了一个让人大跌眼镜的政策转向:宣布允许英伟达向中国销售性能更强的 H200 芯片(此前这类芯片是被严厉禁止的),但带有极其苛刻且近乎羞辱性的附加条件。
特朗普政府要求所有销往中国的 H200 芯片必须加征 25% 的特殊关税,直接返给美国财政部。 每一颗运往中国的芯片,必须先送到美国境内的独立第三方实验室进行安全和性能检测,并且买家要承诺接受美方随时进行的最终用途审计(End-use verification)。
面对这种“既要赚你的钱,又要抽你的税,还要搜你的身”的政策,中国政府和各大科技巨头(如阿里、腾讯、百度)迅速做出了反应。中国海关明确表态不予通关,北京方面也下达了指导意见,要求中企除非科研急需,否则不要购买 H200,全面转向华为昇腾(Ascend)系列等国产算力芯片。
这导致了一个极其讽刺的现象,美国以为放开 H200 能作为谈判筹码,结果中国直接“不买了”。英伟达在中国的 AI 市场份额直接从曾经的 95% 暴跌至归零。这还是经过黄仁勋的百般游说,政府才开恩的,而美国的鹰派为此还耿耿于怀,怀疑黄是中国间谍,要他到国会质询。结果,人家不买了!
按黄仁勋的说法,要战胜中国,必须让中国对美国的芯片产生依赖。就像当年的Windows,微软知道中国在盗版,睁一只眼闭一只眼。等到估计99%以上的的电脑都用上了,突然搞黑屏,如果不注册付钱,电脑就没得用,中国用户不得不乖乖付钱。相反,微软如果当初就狠抓盗版,中国公司就会自己开发操作系统,等到自己有了,微软的市场也没了。
中国这次能掀桌子,还是自己有点底气。华为利用浸润式DUV多重曝光产的7纳米技术生产的昇腾 910B/910C ,性能已经大幅超越了英伟达的 H20,甚至逼近了英伟达的原版 A100。中国意识到,把自己的大模型底座建立在美国随时可能切断的供应链上,无异于自寻死路。中国正要利用这个美国自己找出来的窗口期,强行断掉对美企的依赖,把国内企业以及政府资助的以百亿、千亿计的资金的订单和投资全部砸给华为、寒武纪、海光等国内芯片企业。只有有了充足的资金灌溉和市场需求,国产芯片才有钱搞研发、迭代工艺,实现正向循环!
但美国对华为的这种声称表示怀疑,即利用老一代的DUV光刻机,通过“多重曝光”(Multi-patterning)和先进封装等技术,已经突破了7纳米甚至更先进的制程。因为美国自己以前做过不成,现在按照中国的方法也重复不出来。美国很难相信仅靠DUV就能做到这一步,因此怀疑中国是否秘密获取了EUV硬件或核心技术来进行逆向工程。
据彭博社等媒体报道,美国商务部声称掌握了某些零部件或运输物流的线索,认为有“EUV相关组件”可能通过极为复杂的供应链灰色地带漏向了中国。虽然美国尚未公开具体证据,但这种信息不对称让华盛顿高度警惕。
2025年底曾有外媒报道称,中国科研团队在研发EUV原型机时,吸纳了部分ASML的前员工。这让美国神经紧绷,认为即便整机运不进去,核心技术、组件或图纸也有可能通过人脉和离职员工流出。人是最重要的因素,当年一个钱学森抵得上几个师,一个顶尖人才,就能让中国脱胎换骨,即使没有EVU机,但能作出关键的改进,那可能才是DVU能生产出7纳米芯片,而且产量还很大,良品率还很高的真正原因。中国传出,要投资几千亿美元建造数据中心,全部用国产芯片,这个量要多大?
就AMSL本身,恐怕没有这个动机去干偷运这种事。一台EUV光刻机重达180吨,体积相当于一辆大巴车,需要3架波音747货机分批装载,拆成数万个零件。如此庞然大物,在全球最高级别的出口管制监视下,根本不可能上演“密室逃脱”或走私。ASML虽然是荷兰公司,但其EUV的核心光源(Cymer)和大量关键技术都来自美国。美国可以通过《外国直接产品规则》(FDPR)直接掐断ASML的供应链。一旦违规,ASML将被踢出西方半导体生态,其约7000亿美元的市值将面临毁灭性打击。ASML对售出的每一台光刻机都有着极严格的全球GPS定位和全天候联网监控。不仅如此,EUV极其娇贵,离开ASML工程师的定期维护和原厂配件更换,要不了多久就会变成一堆废铁。
既然ASML主观上没有动机,客观上整机走私也不可能,为什么还会闹出这场风波?行业内部普遍倾向于两种可能性:中国企业可能通过海外壳公司、二手设备市场,购买了ASML旧款设备或者EUV的非核心通用零部件(如真空系统、机械臂、精密轴承等),用于自己的EUV研发项目。美国商务部监测到了这些物流走向,便将其上升为“EUV可能已流入中国”的指控。另外,可能是美国一种施压手段,让ASML“证明自己没有做过的事”,来达到警示或在别的方面让步的目的。就像煤气灯PUA,一个丈夫整天指控妻子有外遇,搞得她不但萌芽状态的想法吓没了,在其它方面也处处听从。
美国要压ASML屈服的一个事,就是要全力推进一项国会两党联合提出的《MATCH法案》。这个法案有两个核心杀招: 彻底禁止向中国出口所有型号的浸润式DUV光刻机(如1980系列等老款); 禁止ASML为中国企业现有的、已经安装在厂房里的DUV设备提供任何维护、保修和零件更换服务。
美国假设中国就是靠这些老式的DUV造出了先进芯片,光刻机是极其精密的“长周期”设备,需要原厂工程师定期校准,且激光器、镜片等属于易耗品。如果真的彻底切断售后,国内现有的先进DUV光刻机在1到2年内就会因为缺乏配件或软硬件故障大面积停摆。这也是美国最想达到的“釜底抽薪”效果。
但这对ASML是无法接受的。对那些售出的光刻机,如果在合同期限内断了维护,中国就可以起诉退货还要索赔,总赔偿额高达数千亿欧元,而且会极大损坏ASML的名声。这是ASML难以承受的。美国现在试图通过抛出“EUV疑似泄漏”的舆论,逼迫ASML在接下来的“彻底切断中国DUV售后服务”谈判中做出退让。
中国目前的状态是,在EVU方面还任重而道远,不是一年两年,甚至十年内的事,但DUV的改进方面做得很不错,问题是现在还是很依赖ASML的DUV机子。美荷在深度博弈,中国不能坐等,还是要做好最坏的打算。
针对可能会遇到的ASML停止维护和提供配件的极端情况,中国作好了预案。计划分为“明、暗、长”三条路线。
路线一(明线):疯狂的囤积与“器官移植”。在制程禁令不断收紧的这几年,国内晶圆厂干得最多的一件事就是“爆买”和“囤货”。过去几年,中国买下了ASML绝大部分非先进制程的DUV光刻机和海量的二手设备,在厂房里备足了基数。 按照行业内部透露的消息,国内头部晶圆厂(如中芯、华虹等)囤积的ASML原厂易损件、耗材(如激光发生器核心组件、光学反射镜、精密轴承、高纯度化学品),足够支撑现有机器在完全没有原厂服务的情况下,高强度运转3到5年。 光刻机是由数万个零件组成的。即便部分机器坏了,只要有足够的技术资料,工程师可以把两台坏机器拆解,组合成一台好机器,优先保障核心产线的运转。
路线二(暗线):本土化“民间维保团队”的崛起。ASML撤走原厂工程师,不代表机器就没人能修了。 过去几年,大批原本在ASML、应用材料(Applied Materials)、泛林(Lam Research)工作的中国籍或华裔资深售后工程师、技术专家被国内高薪挖角。这批人极其熟悉ASML光刻机的内部结构、故障代码和底层逻辑。 光刻机的一些常规消耗品(如密封圈、机械臂、精密线缆、甚至是部分的激光源镜片),国内正在通过“逆向工程”由本土的半导体设备公司提供“副厂替代件”。虽然精度和寿命可能不如原厂,但足以“续命”。
路线三(长线):国产光刻机攻坚战。中国真正的、最根本的备份,是国产光刻机产业链的全面顶上。在这个领域,国内并不是零基础。在成熟制程(90nm/28nm及以上), 上海微电子(SMEE)的i-line、KrF等光刻机已经实现商业化,并且大量应用于国内封装厂和成熟制程、功率半导体(如汽车IGBT、电源管理芯片)的生产中。即使ASML的低端机器全废,这部分工作国产机器完全接得过来。
浸润式DUV(ArFi,对应先进制程),这是最核心的战场。国内的国家队(上海微电子领头,联合长春光机所、华卓精科、科益虹源等)正在全力攻坚国产浸润式DUV(目标对标ASML的1980系列)。目前这些样机正在国内顶级晶圆厂的“国产化验证线”上进行高强度的通片测试和工艺迭代。现状是, 虽然在良率、稳定性和每小时晶圆吞吐量(WPH)上,国产替代机目前还无法跟浸淫行业数十年的ASML成熟机器相比,但它已经解决了“从无到有”的问题。 一旦ASML的机器由于政治原因彻底报废,这条国产验证线会立刻转为正式生产线。 即使成本高一点、良率低一点,也能保证国家最核心的芯片不会“彻底断供”。
总结一下,如果ASML的机器因为ASML断绝服务而报废,在传统家电、普通汽车、物联网芯片方面, 几乎不受影响,国产成熟光刻机能顶上。高端手机芯片、AI算力芯片方面, 会经历一个痛苦的“性能倒退或产能暴跌期”。因为国产高端DUV要完全达到ASML的稳定性,还需要时间。中国目前依靠“库存配件”和“民间维保”筑起了一座缓冲堤坝。这座堤坝能为国产光刻机和先进封装技术的成熟,争取到3到5年的黄金窗口期。
只要在这段窗口期内,国产浸润式DUV的良率能够跑通,甚至国产的EUV或替代工艺走通,美国和ASML的“断供、断保杀招”,就会彻底失效。